随着生活水平的提高，人们也越来越严格的产品质量要求。洁净室室内的气流并不都按单一方向流动。非单向流洁净室有几个共同的特点：终端过滤器（高效或亚高效）尽量接近洁净室，它可以就是送风口或直接连送风口，也可以接到房间的送风静压箱上；回风口均设在洁净室的下部，目的是避免出现“扬灰”现象。非单向流洁净室中都有涡流存在，不适宜用于高洁净度的洁净室中，宜用于6~9级的洁净室中。净化车间地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板高效送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板。因此，电子车间洁净厂房设计的各个方面，同时也增加了需求，尤其是在湿度方面，它的要求很高。
行业人士可能都明白这个道理：高湿度实际上减小了无尘电子车间表面的静电荷积累，这是大家想要的结果；较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。
因此，当相对湿度大于50%时，静电电荷开始迅速消散，而当相对湿度小于30%时，它们在绝缘体或不接地表面上会持续很长一段时间。
35％至40％之间的相对湿度，可以说是令人满意的妥协，半导体无尘室，洁净室通常使用附加的控制装置，以限制静电荷的积聚。许多化学反应速率，包括蚀刻过程中，由于相对湿度增加，加速了。所有暴露于洁净室，周围表面的洁净室空气被迅速覆盖上的水的至少一个单层。当这些表面由薄的金属涂层的可与水反应，在高湿度可以加速反应。幸运的是，一些金属，如铝，可以与保护性氧化物型水形成，并防止进一步的氧化反应;然而，有不具有保护，例如氧化铜，在高湿度的能力另一种情况下，在铜表面易受腐蚀。
总之，干净的电子车间湿度控制，主要在于其生产工艺要求，所以厂家进行电子湿度严格要求的无尘车间是必要的。
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