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10万级无尘车间净化工程标准规范

时间:2022-08-28 10:13:35 点击:5295次

前言:

在每单位空气体积的洁净空间进行分类的水平标准,最大浓度限值大于或等于要考虑的颗粒大小。净化工程指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程无尘室净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理,可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。洁净室对于净化空调系统的加湿问题而言,常用的加湿方法有很多种,有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿,这些加湿方法属等焓加湿过程。而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极(电热)加湿是向空调送风中喷蒸汽,其加湿方法属等温加湿过程。使用空方法和静态方法进行测试。

100,000级无尘车间:指空气洁净度为100,000的洁净车间.空气洁净度是指在洁净的环境中,空气中悬浮颗粒的数量。当粉尘浓度较高时,空气洁净度一般较低,而粉尘浓度较低时,空气洁净度较高。它是根据每立方米空气的最大允许颗粒数来确定其空气洁净度水平。

本文详细阐述了建造10万级洁净车间的标准规范,并结合现行规范标准,总结了洁净度车间的特点,洁净度达到10万级。

从通风频率的角度来看:

100,000级的要求是每小时18-25次。充分通风后,空气净化时间不超过40分钟。

10000级要求每小时通风25/30,完全通风后空气净化不超过30分钟。

1000级每小时需要40-60次换气,完全通风后的空气净化时间不超过20分钟。

包括10万级净化车间在内的各级洁净度标准如下:

iso 14644根据悬浮粒子浓度的唯一指标,将洁净室及相关控制环境中空气的洁净度分类,只考虑累积分布在0.1微米至5.0微米之间的粒子群。

根据粒径可分为常规颗粒、超微结构颗粒和宏观颗粒。

空气洁净度等级标准:ISO14644-1

空气洁净度等级

大于或等于标准粒径的颗粒最大浓度限值

0.1 um

0.2 um

0.3 um

0.5um

1um

5 um

ISO Class 1

10

2

ISO Class 2

100

24

10

4

ISO Class 3

1 000

237

102

35

8

ISO Class 4

10 000

2 370

1 020

352

83

ISO Class 5

100 000

23 700

10 200

3 520

832

29

ISO Class 6

1 000 000

237 000

102 000

35 200

8 320

293

ISO Class 7

352 000

83 200

2 930

ISO Class 8

3 520 000

832 000

29 300

ISO Class 9

35 200 000

8 320 000

293 000

注意:由于测量过程中所涉及的不确定性,需要确定浓度不超过三个有效浓度数字的水平。

空气洁净度分级标准:GB/T 16292-1996

粒径、数值洁净度级别

最大允许灰尘/立方米

微生物最大允许数

0.

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