一、空态验收(IQ)
设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员
检测项目：洁净室设备的成套性、安装质量、压差、气流特性、表面洁净度、维护结构的密封性等。无尘车间叫洁净厂房、洁净室(Clean Room）、无尘室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。洁净车间机动灵活，即适合在新建厂房配套安装，也适宜老厂房的净化技术改造。维修结构也可随工艺要求任意组合，拆卸方便。净化车间要检讨分析人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等，尽量缩短动线，并避免交叉，以防止交叉污染。作业者、化学药品、材料等动线勿集中；无尘车间四周，宜设缓冲区；制造装置的出入，不要对作业产生大影响。
二、静态验收(OQ)
该设施已经完工，生产设备已经安装并投入使用，但没有生产人员。
检测项目：洁净区划分是否符合要求;确定自净时间参数;确定温度和湿度的稳定性;按粒子数确定洁净级别;确定压差;确定照度;确定噪声级;目视检查气流并检查换气次数。
三、动态验收(PQ)
设施已按规定的状态运行，有规定的人员子在场，并在商定的状态下进行
检测项目：验证洁净室分割制度;评估将温度和相对湿度保持在规定范围内的能力;验证压差;检查洁净室运行文件的成套性;检查人员是否经过培训。
洁净手术室与洁净车间的验收检测项目大致相同，洁净车间往往更注重灰尘粒子数量，而洁净手术室更注重细菌的数量。
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