洁净室(间) cleanroom
空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间。
注:房间也可理解为多个洁净间等组成的区域。
辅 助 区 support area
洁净间外有一定洁净度要求,以保证洁净间空气洁净度稳定性为主要目的,并为洁净间做相应准 备、服务工作的区域。
缓冲区 buffer area
辅助区内与无洁净度要求空问的通行区域。其内可设某些功能区。
时间:2024-12-27 10:55:22 点击:78次
洁净室(间) cleanroom
空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间。
注:房间也可理解为多个洁净间等组成的区域。
辅 助 区 support area
洁净间外有一定洁净度要求,以保证洁净间空气洁净度稳定性为主要目的,并为洁净间做相应准 备、服务工作的区域。
缓冲区 buffer area
辅助区内与无洁净度要求空问的通行区域。其内可设某些功能区。